美国VIRTUAL VMWT-A晶圆吸笔头用于4寸Wafer硅片拾取转移,ESD防静电安全PEEK聚醚醚酮材质模制而成MOLDED PEEK Wafer Tips,盘面宽12.70mm,长度35mm,耐温度100℃,另有带角度弯头型号可选,连接电动真空吸笔或厂务气源使用。
Virtual VMWT-A 4寸晶圆吸笔头可用于拾取转移四寸wafer硅片、外延片、Solar Cell太阳能电池、平板,PEEK聚醚醚酮塑料模制而成ESD防静电安全,工作可达100℃。VMW-A吸笔头盘面宽12mm、厚2.5mm,可以方便地从晶舟、支架或晶圆盒上拾取转移,与电池式及电动真空吸笔配套使用,或使用空压吸笔套件的转接头连接厂务真空气源、压缩空气来提供持续吸力。提供扩展加长杆以及带角度弯头型号,另有耐温250℃硬质阳极氧化铝合金材质型号应对高温应用。
■ PEEK聚醚醚酮材质,模塑加工制成,ESD防静电,耐温100℃,头部厚度0.1寸=2.54mm、手柄长78.74mm
Virtaul VMWT-A 4寸WAFER吸笔头:盘面长*宽=35.56mm x 12.70mm,厚度2.54mm,插杆直径6.5mm
VMWT-B 6寸吸笔头:盘面长*宽35.56mm x 33.02mm,拾取转移六寸6” (150mm) wafers晶圆
VMWT-C 8寸晶圆吸笔头:盘面长*宽53.34mm x 35.56mm,拾取八英寸(200mm) wafers
VMWT-D方形12寸吸笔头:盘面长*宽78.74mm x 53.34mm,可用于拾取12英寸wafers
VWT-5R-AR圆形12寸吸笔头:中心有孔减少接触面,外径127mm,可处理12" 300mm晶圆、硅片、平板
另可选购防止转动的适配头VMWT-ADAPT-AR:ESD-Safe Anti Rotate Tip Adaptor、VF-40M-5接口过滤器5个一组
特殊扩展型号:
1、弯曲型——VMWT-A/B/C/D型可订购向下弯曲D或者上弯型U,常规的弯曲角度有10°、20°、30°,在型号后面加入方向及角度代码,如:VMWT-A20U表示四寸吸笔头前端向上弯曲20度,VMWT-C30D 8寸吸笔头弯曲30度下弯。另可订购“L”左弯、“R”右弯如VMWT-B20L,或者特殊定制款。
2、加长型——VMWT-B/C/D即6寸、8寸、12寸笔头可加长连接杆长度,由标准长78.74mm扩展到200mm,对应型号分别为VMWT-B-EX200、VMWT-C-EX200、VMWT-D-EX200。
Press-Fit Molded PEEK吸笔头规格说明书http://www.testeb.com/download/201812/Virtual_PEEK_VMWT-ABCD.pdf
Virtual晶圆吸笔头选型文档http://www.testeb.com/download/201812/Virtual_Wafer_Tips_VMWT.pdf
1、便携电池式晶圆吸笔
VPWE7300AR-MW8八寸真空吸笔,配VMWT-C 8寸笔头,可现场更换的充电电池,带电量及安全真空度提示灯
VPW6300-VWT5R-220 12寸晶圆吸笔,配VWT-5R-AR圆形吸笔头,12寸wafers拾取,带安全真空度操作提示灯
VPW6300AR-MW8晶圆真空吸笔,配8寸PEEK吸笔头VMWT-C,内置电池带电量提示和操作指示灯
PV4000A-MW4吸笔,配VMWT-A 4寸笔头,一次性9V电池供电,便携式操作,低成本,可选更换4~12寸头
PV4300-MW8电池式晶圆吸笔,带八英寸笔头,安全真空度操作提示灯,9V电池供电,性价比高
V3200-CLN-MW6六寸晶圆吸笔,内置9V电池微型真空发生器,口袋型设计,洁净室标准
2、台式电动插电型
WVE-9000-MW8八寸晶圆吸笔,条形真空度显示,确保安全操作安全可靠
AV-5000可调式真空吸笔,ADJUST-A-VAC® Elite旋钮调整吸力主机,保护铟化镓、氮化镓等脆弱易碎晶圆
WV-9000-MW8-220插电式经济型版本,可更换4"、6"、8寸、12英寸晶圆吸笔头
3、晶圆吸笔套件,外接气源,压缩空气或氮气
VWWB-2A-MW8-1/8真空吸笔套件,PEEK VMWT-C吸头,1/8螺纹适配接口
VVSW-MW8空压式晶圆吸笔,2米1/16寸接口管VCH-1/16-6
高温涂层吸笔头,耐高温250℃,笔头为铝制阳极氧化材质、厚度3.3mm,不锈钢连接杆长度76.20mm
VWT-100075-PF 4寸耐高温吸笔头:长宽尺寸(1.05“ x 0.75") 26.67mm x 19.05mm,适用4” (100mm) wafers
VWT-170110-PF 6寸耐高温吸笔头:长宽尺寸(1.70“ x 1.10") 43.18mm x 27.94mm,用于6” (150mm) wafers
VWT-250125-PF 8寸耐高温吸笔头,长宽尺寸(2.50“ x 1.25") 63.50mm x 31.75mm,吸取8” (200mm) wafers
与PEEK材质一样支持特殊扩展的弯曲角度、加长连接杆长度