美国Virtual PORTA-WAND VPW6300AR-VWT5R-AR便携电池式真空晶圆吸笔专门用于吸取12寸wafer晶圆硅片,圆形12寸吸笔头ESD防静电,内置固定的9.6V镍氢电池,充2个小时满电、满电可连续使用2~3小时,带有操作指示灯确保安全拾取转移,防止产品掉落。
Vritual PORTA-WAND系列晶圆吸笔适合大硅片、半导体晶圆、电池片、蓝宝石晶片、外延片、玻璃等。每个晶圆吸笔都经过测试,以确保符合Class 1粒子污染要求,是晶圆镊子的替代工具,可互换的PEEK材料吸笔头不会损伤晶片。根据海拔和大气压力,可提供15至20英寸汞柱真空度吸力。SERIES 3 PORTA-WAND®系列可处理300mm Wafer晶片,VPW6300AR-VWT5R-AR晶圆吸笔为拾取12寸wafer专用,充电式设计,附有指示灯可知道电量及提起操作时机,防止产品掉落,ESD防静电安全。内置9V可充电电池,充2个小时满电,满电状态下可连续使用2~3小时,可重复充电1000次。
一、PORTA-WAND 3电池式真空吸笔,不可拆卸电池可充电
PORTA-WAND套装,内置固定的可充电9.6V镍氢电池和一个晶圆吸笔头,VPW6000-CHRG充电座
专用于处理晶圆,运行指示灯仅当牢牢吸住晶片时才亮起,确保操作安全,
VPW6300AR-VWT5R-AR:便携电池式真空晶圆吸笔带300mm圆形吸笔头VWT-5R,适用12" Wafer硅片
VPW6300AR-MW4:PEEK材质吸笔头VMWT-A, handles up to 4” (100mm) wafers
VPW6300AR-MW6:VMWT-B吸笔头,适合6” (150mm) wafers,110V/ 220V电源版本
VPW6300AR-MW8:VMWT-C吸笔头,适合8” (200mm) wafers
VPW6300AR-TW4:耐高温铁氟龙涂层吸笔头VWT-100075PF, handles up to 4” (100mm) wafers
VPW6300AR-TW6:耐高温铁氟龙涂层吸笔头VWT-170110PF, handles up to 6” (150mm) wafers
VPW6300AR-TW8:耐高温铁氟龙涂层吸笔头VWT-250125PF, 处理8” (200mm) wafers
更换备件:VPW6300AR-XWT含笔杆及充电器不含吸笔头;VPW6300AR-X仅吸笔杆
Vitual晶圆吸笔规格文档http://www.testeb.com/download/201710/Virtual_PORTA-WAND_VPW6000_VPWE7000.pdf
二、SERIES 3 PORTA-WAND® / ELITEPORTA-WAND 3 ELITE电池式真空吸笔,可拆卸互换电池
PORTA-WAND® ELITE Kit,洁净室安全,可现场更换9.6V镍氢充电电池VPWE-150和一个晶圆吸笔头
晶圆拾取专用,运行指示灯仅当牢牢吸住晶片时才亮起,确保操作安全,VPW6000-CHRG-220充电座
SERIES 3 PORTA-WAND ELITE w 300mm Wafer Tip VWT-5R,12” (300mm),
VPWE7300AR-VWT5R-AR:便携电池式真空晶圆吸笔含300mm圆形吸笔头VWT-5R,适用12寸晶圆
VPWE7300AR-MW4:PEEK材质吸笔头VMWT-A, handles up to 4” (100mm) wafers
VPWE7300AR-MW6:VMWT-B吸笔头,适合6” (150mm) wafers,110V/ 220V电源版本,
VPWE7300AR-MW8:VMWT-C吸笔头,适合8” (200mm) wafers
VPWE7300AR-TW4:耐高温铁氟龙涂层吸笔头VWT-100075PF, 4” (100mm) wafers
VPWE7300AR-TW6:耐高温铁氟龙涂层吸笔头VWT-170110PF, 6” (150mm) wafers
VPWE7300AR-TW8:耐高温铁氟龙涂层吸笔头VWT-250125PF, 8” (200mm) wafers
更换备件:VPWE7300AR-XWT含笔杆及充电器不含吸笔头;VPWE7300AR-X仅吸笔杆
三、PORTA-WAND®电池式晶圆吸笔,不可拆卸电池
PORTA-WAND Kit,内置固定的9.6V镍氢充电电池,连接电源充电座VPW6000-CHRG
适合拾取具有坚硬平面的物体,如硅晶圆、玻璃片等,可轻松吸取500g重量
VPW6000AR-MW4:PORTA-WAND with PEEK wafer tip VMWT-A, 4” (100mm) wafers
VPW6000AR-MW6晶圆吸笔:含VMWT-B 6寸吸笔头,适合6” (150mm) wafers
VPW6000AR-MW8:VMWT-C吸笔头,适合8” (200mm) wafers
VPW6000AR-TW4:铁氟龙涂层吸笔头VWT-100075PF, handles up to 4” (100mm) wafers
VPW6000AR-TW6:特氟龙涂层吸笔头VWT-170110PF, handles up to 6” (150mm) wafers
VPW6000AR-TW8:铁氟龙涂层吸笔头VWT-250125PF, handles up to 8” (200mm) wafers
四、PORTA-WAND® ELITE电池式晶圆吸笔,可拆卸更换电池
PORTA-WAND® ELITE Kit,洁净室安全,可现场更换9.6V镍氢充电电池,VPWE-150可拆卸电池组
适合拾取具有坚硬平面的物体,如硅晶圆、玻璃片等,可轻松吸取500g重量
VPWE7000AR-MW4:PORTA-WAND ELITE含VMWT-A吸笔头, 4” (100mm) 晶圆吸取
VPWE7000AR-MW6:VMWT-B吸笔头,适合6” (150mm) wafers
VPWE7000AR-MW8:VMWT-C吸笔头,适合8” (200mm) wafers
VPWE7000AR-TW4:铁氟龙涂层吸笔头VWT-100075PF, handles up to 4” (100mm) wafers
VPWE7000AR-TW6:特氟龙涂层吸笔头VWT-170110PF, handles up to 6” (150mm) wafers
VPWE7000AR-TW8:铁氟龙涂层吸笔头VWT-250125PF, handles up to 8” (200mm) wafers
VPW6300AR-VWT5R-AR电池式晶圆吸笔
12寸晶圆专用吸笔,充电式设计,有指示灯可知道电量,预防产品掉落
符合防静电规格
含12寸晶圆吸笔头、充电器和吸笔
可以转接6-8寸吸笔头使用
VPW6000AR-MW8充电式晶圆吸笔
可配4、6、8吋吸笔头使用,适合2寸、4寸、6寸、8寸硅片等产品使用
充电式设计,有指示灯可知道电量,预防产晶掉落
符合防静电规格
吸笔头客户可以自己选择
采用9V直流电池,容易更换
可以配2、4、6、8寸吸笔头使用
符合防静电规格
内置真空发生器不用外接气源
采用9V直流电池,容易更换,可以配4、6、8寸吸笔头使用
洁净室标准,便携式设计,可以挂在皮带或者放口袋里,便于随身携带